Imec приобретает новейший EUV-сканер от ASML

Бельгийский центр исследования Imec рад сообщить о приобретении передового сканера EUV TWINSCAN EXE:5200 от ASML с числовой апертурой 0,55, который обеспечит высочайшее разрешение в создании полупроводниковых структур. Это событие подтверждает сильные позиции Европы в разработке технологий, необходимых для чиповых производителей. Новый сканер превзойдёт традиционные EUV-системы (NA 0,33) по оптическому разрешению и предложит большую производительность обработки 300-мм пластин. Установка будет играть важную роль в пилотной линии NanoIC, ориентированной на технологические процессы менее 2 нм. Сотрудничество Imec и ASML в Лаборатории High-NA EUV в Нидерландах позволило достичь рекордов в области разрешения. Ожидается, что EXE:5200 будет готов к работе к конце 2026 года, что откроет возможности для создания высокоэффективных AI-ускорителей и ultra-dense памяти. Такое стратегическое партнерство поддерживается ЕС и правительствами Бельгии и Нидерландов, что подчеркивает важность инноваций в полупроводниковом секторе.

Понравилась статья? Поделиться с друзьями: